หมวดหมู่อุปกรณ์และเครื่องจักรเฉพาะสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ประกอบด้วยเครื่องจักรประมวลผลเวเฟอร์ (เครื่องเอตชิ่ง, เครื่อง CVD, เครื่องสปัตเตอริ่ง), อุปกรณ์การฉายแสง (สเตปเปอร์, สแกนเนอร์), เครื่องตรวจสอบและวัด (เครื่องวัดความหนาฟิล์ม, เครื่องตรวจสอบข้อบกพร่อง), เครื่องทำความสะอาด, เครื่องฉีดไอออน และอุปกรณ์เฉพาะกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์อื่นๆ ออกแบบสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด สามารถประมวลผลและตรวจสอบด้วยความแม่นยำระดับนาโนเมตร แยกจากเครื่องจักรผลิตทั่วไปและอุปกรณ์ผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ จำแนกเฉพาะอุปกรณ์ที่เฉพาะเจาะจงสำหรับกระบวนการขั้นต้นและขั้นสุดท้ายในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์