หมวดหมู่อุปกรณ์ผลิตสารกึ่งตัวนำเฉพาะทางที่ไม่รวมอุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์, อุปกรณ์เอ็กซ์โพเชอร์, อุปกรณ์ตรวจสอบและวัด, อุปกรณ์ทำความสะอาด, อุปกรณ์ฉีดไอออนในกระบวนการผลิตสารกึ่งตัวนำ รวมอุปกรณ์เฉพาะสำหรับกระบวนการหลังเช่น อุปกรณ์ไดซิ่ง, อุปกรณ์ไวร์บอนดิ้ง, อุปกรณ์แพ็คเกจจิ้ง, อุปกรณ์เมาท์เวเฟอร์, อุปกรณ์ประมวลผลลีดเฟรม, อุปกรณ์ซีลลิ่ง, อุปกรณ์มาร์กกิ้ง, อุปกรณ์เทปปิ้ง และอุปกรณ์เฉพาะสำหรับกระบวนการพิเศษ เป็นอุปกรณ์ความแม่นยำสูงที่ออกแบบสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมคลีนรูม เฉพาะสำหรับการประกอบ การติดตั้ง และการประมวลผลขั้นสุดท้ายของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ จัดการเฉพาะอุปกรณ์เฉพาะทางที่ไม่จัดอยู่ในหมวดหมู่อุปกรณ์ผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ทั่วไปหรืออุปกรณ์ผลิตสารกึ่งตัวนำหมวดหมู่อื่น