หมวดหมู่อุปกรณ์ตรวจสอบเฉพาะทางสำหรับการควบคุมคุณภาพและปรับปรุงอัตราผลผลิตในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ครอบคลุมเครื่องมือตรวจสอบความแม่นยำสูง เช่น อุปกรณ์ตรวจสอบลักษณะภายนอกเวเฟอร์, อุปกรณ์ตรวจสอบข้อบกพร่องของแพทเทิร์น, เครื่องวัดความหนาฟิล์ม, CD-SEM, อุปกรณ์วัดการซ้อนทับ, อุปกรณ์ตรวจสอบอนุภาค มีความสามารถในการวัดความแม่นยำสูงที่รองรับการย่อขนาดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และสามารถสร้างระบบตรวจสอบทุกชิ้นแบบอินไลน์ ให้โซลูชันการตรวจสอบเฉพาะสำหรับแต่ละขั้นตอนการผลิตตั้งแต่กระบวนการต้นน้ำถึงปลายน้ำ เพื่อการค้นพบผลิตภัณฑ์บกพร่องในระยะเริ่มต้นและการรวบรวมข้อมูลปรับปรุงกระบวนการ