หมวดหมู่อุปกรณ์เฉพาะสำหรับกระบวนการสร้างฟิล์มบางในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ประกอบด้วยอุปกรณ์ CVD, อุปกรณ์ PVD, อุปกรณ์สปัตเตอริง, อุปกรณ์ระเหย, อุปกรณ์ ALD, อุปกรณ์เอพิแทกเซียลโกรท สามารถเคลือบฟิล์มโลหะ ฟิล์มฉนวน ฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์บนพื้นผิวเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยำ ควบคุมความหนาฟิล์มและความสม่ำเสมอในระดับนาโนเมตร เฉพาะกระบวนการสุญญากาศในสภาพแวดล้อมคลีนรูม ใช้ในการสร้างชั้นการเชื่อมต่อ อิเล็กโทรดเกต ฟิล์มป้องกันในกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ แยกจากอุปกรณ์เอทชิงและอุปกรณ์ทำความสะอาดอย่างชัดเจน เฉพาะอุปกรณ์ที่มีฟังก์ชันการสะสมและการเคลือบวัสดุเท่านั้น