「ZEISS XENOS」三次元座標測定機：最高精度の測定イノベーション
ZEISS XENOS は、業界最高レベルの精度 を実現するように設計された 三次元座標測定機 (CMM) です。最大長さ測定誤差 (E₀, MPE) はわずか 0.2+L/1000 マイクロメートル であり、研究機関、航空宇宙産業、光学産業 など 超高精度な測定が求められる分野 に最適です。
■ 特長
- シリコンカーバイドセラミック素材: 本体の主要構造部品には シリコンカーバイドセラミック を採用し、低熱膨張、高剛性、軽量 という特性を活かして、測定の安定性と精度を向上することです。
- バーチャル・セントラル・ドライブシステム: すべての軸にリニアドライブ を採用し、特に Y軸にはZEISS独自の同期デュアルドライブ を搭載。X軸の位置に応じた最適な駆動力を確保し、測定精度の均一性を最大限に向上することです。
- Zerodur® スケール: 熱膨張がほぼゼロ の Zerodur®スケール を使用し、温度補正による不確実性を最小化 しつつ、測定分解能を向上することです。
■ 仕様
- 測定範囲 (X×Y×Z): 900×1,500×700 mm
- 最大長さ測定誤差 (E₀, MPE): 0.2+L/1000 μm (19.5～20.5°C 環境下)
- 駆動システム: 全軸リニアドライブ により 高精度・高速測定を実現
- 構造材質: シリコンカーバイドセラミック により 高剛性と安定性を確保
- センサー: VAST gold センサー を搭載し、高精度・高再現性 を実現
■ 用途
ZEISS XENOS は、以下のような 超高精度が求められる業界 で幅広く活用されています。
- 研究開発 (R&D): 微細部品の高精度測定・解析
- 航空宇宙産業: 航空機部品の 寸法精度検査
- 光学機器産業: レンズやミラー など高精度コンポーネントの測定
- 高精度ゲージ製造: 測定機器の校正・検査 に利用
ZEISS XENOS は、最先端技術と究極の精度 を融合させた、高精度品質管理の最高峰 の測定ソリューションです。
