กลุ่มอุปกรณ์วิเคราะห์สภาพพื้นผิว องค์ประกอบ และโครงสร้างของวัสดุและผลิตภัณฑ์อย่างละเอียด ใช้ในการควบคุมคุณภาพ การพัฒนาวัสดุ และการวิเคราะห์ข้อบกพร่องในอุตสาหกรรมการผลิต โดยประเมินองค์ประกอบทางเคมีของพื้นผิว โครงสร้างผลึก ความหยาบ และสภาวะการปนเปื้อนเชิงปริมาณ ใช้เทคนิคการวิเคราะห์ XPS, AES, SIMS, AFM, STM, SEM-EDS เพื่อทำความเข้าใจคุณสมบัติของชั้นพื้นผิวตั้งแต่ระดับนาโนเมตร และนำไปใช้ในการปรับปรุงประสิทธิภาพผลิตภัณฑ์และกระบวนการผลิต เป็นเทคโนโลยีการวิเคราะห์ที่จำเป็นสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การแปรรูปโลหะ การเคลือบผิว และการผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์