เครื่องวิเคราะห์สเปกโทรสโคปีอิเล็กตรอนออเจอร์ (AES) เป็นอุปกรณ์ที่ฉายลำแสงอิเล็กตรอนไปยังพื้นผิวตัวอย่างและวิเคราะห์พลังงานของอิเล็กตรอนออเจอร์ที่ปล่อยออกมาเพื่อวัดองค์ประกอบธาตุของพื้นผิวเชิงปริมาณ ใช้ในการวิเคราะห์องค์ประกอบฟิล์มบางในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การตรวจสอบการปนเปื้อนพื้นผิววัสดุโลหะ การวิเคราะห์อินเทอร์เฟซชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ และการวิเคราะห์ความลึกของฟิล์มเคลือบ สามารถวิเคราะห์ชั้นพื้นผิวสุดขั้วประมาณไม่กี่นาโนเมตร มีความละเอียดเชิงพื้นที่สูงกว่า XPS ด้วยฟังก์ชันไมโครโพรบออเจอร์แบบสแกน (SAM) สามารถทำแผนที่การกระจายธาตุในพื้นที่ขนาดเล็กได้ ต้องการการวัดในห้องสุญญากาศและเหมาะสำหรับการวิเคราะห์ตัวอย่างที่นำไฟฟ้าได้