หมวดหมู่ของอุปกรณ์กล้องจุลทรรศน์แบบสแกนโพรบ เช่น กล้องจุลทรรศน์แรงระหว่างอะตอม (AFM) และกล้องจุลทรรศน์แบบสแกนทันเนลลิง (STM) ใช้สำหรับการวัดรูปร่างพื้นผิวระดับนาโนเมตร การวิเคราะห์ความขรุขระ และการประเมินคุณสมบัติของวัสดุ จำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การควบคุมคุณภาพชิ้นส่วนแปรรูปแม่นยำ และการวิจัยพัฒนาวัสดุฟิล์มบาง แตกต่างจากกล้องจุลทรรศน์แสงและกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน ใช้การสแกนด้วยโพรบทางกายภาพเพื่อให้ได้ความละเอียดระดับอะตอม สนับสนุนการวิเคราะห์พื้นผิวผลิตภัณฑ์แปรรูปแม่นยำสูงและการพัฒนาวัสดุใหม่ในอุตสาหกรรมการผลิต