X線により表面の化学組成・化学状態・結合状態を分析する表面分析装置。元素同定・価数・結合エネルギー・深さ分布を測定。半導体・電子材料・触媒・コーティング・薄膜の表面特性評価・品質管理・研究開発に使用。