洗浄装置 に該当した生産財

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洗浄装置について

半導体ウェハ表面の汚染物質・パーティクル・有機物を除去する洗浄装置。湿式・乾式洗浄により、清浄表面を確保。歩留り向上・デバイス特性向上・信頼性確保に直結する重要工程。

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