หมวดหมู่ของอุปกรณ์เฉพาะทางสำหรับการวัดรูปทรงสามมิติของชิ้นส่วนและผลิตภัณฑ์ในอุตสาหกรรมการผลิตด้วยความแม่นยำสูง ใช้โพรบแบบสัมผัสหรือเลเซอร์แบบไม่สัมผัสเพื่อรับข้อมูลพิกัด X-Y-Z และแปลงค่าเผื่อขนาด, ค่าเผื่อเรขาคณิต, ความแม่นยำของรูปร่างเป็นตัวเลข เป็นอุปกรณ์ที่จำเป็นสำหรับการตรวจสอบคุณภาพชิ้นส่วน CNC, การยืนยันความแม่นยำของแม่พิมพ์, การตรวจสอบขนาดชิ้นส่วนยานยนต์ รวมถึงรุ่นที่มีฟังก์ชันเปรียบเทียบกับข้อมูล CAD แตกต่างอย่างชัดเจนจากเครื่องมือวัดมิติเดียวเช่นเวอร์เนียร์คาลิเปอร์และไมโครมิเตอร์ เป็นอุปกรณ์วัดขั้นสูงสำหรับการประเมินความแม่นยำโดยรวมของรูปทรงสามมิติที่ซับซ้อน