検査装置 に該当した生産財

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検査装置について

半導体ウェハ・チップの欠陥・電気特性・寸法を検査する装置。光学・電子ビーム・プローブ検査により、製造工程の品質管理・歩留り向上を支援。微細欠陥の高速・高精度検出が要求される。

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