イオン注入装置 に該当した生産財

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イオン注入装置について

半導体ウェハに不純物イオンを注入してPN接合を形成する装置。高エネルギーイオンビームにより、精密な濃度分布・接合深さ制御を実現。LSI・パワー半導体の電気特性を決定する重要工程。

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