空気駆動ベローズポンプ、タイ
半導体製造プロセス専用設計のエアー駆動ベローズポンプ。発売以来20有余年、イワキは常に市場ニーズにお応えして、新製品開発を積極的に展開してきました。その品質と性能は世界のデバイス・ウェハーメーカーより高い評価をいただいています。また、ポンプのみならずコントローラ・ダンパーなどの周辺機器や薬液補充ポンプシステムも標準化。一段と充実した製品ラインアップでウェット洗浄プロセスをはじめ、薬液供給装置やCMPプロセスなどに幅広く対応します。
カテゴリ
その他