HQ225EN_Semiconductor
エリコンバルザースは、半導体製造の最適化に向けたカスタマイズされた表面ソリューションを提供しており、次世代製造ニーズに対応する高品質コーティングは、高価なモノリシック材料を性能劣化なく代替し、金属汚染の低減、総所有コスト（CoO）の改善、部品寿命の延長、装置稼働率の向上、ESD低減に貢献します。主要技術として、PACVD DLC、PVD、溶射があり、特にPACVD DLCは低摩擦係数と優れた耐摩耗性で粒子発生を抑制し、電気伝導性も調整可能で高歩留まりを実現します。PVDコーティングはESD、耐摩耗性、高温プロセス、プラズマエッチング耐性を提供し、Oerlikon Metcoの溶射技術は高純度セラミックコーティングを可能にします。具体的な製品として、ダイヤモンドライクナノコンポジット(DLN)フィルムのBALINIT® DYLYNは低摩擦係数と調整された電気伝導性でフロントエンド・バックエンド両方に適用され、BALINIT® HALONAはプラズマエッチングの過酷な環境下で化学腐食やイオン衝撃に耐え、耐摩耗性と光学透明性を提供します。BALINIT® Aは高温、導電性、耐摩耗性が求められる用途に最適です。これらのコーティングは、ウェーハステージ、Eチャック、シャワーヘッド、フォーカスリング、チャンバーライナーなどのフロントエンド部品や、キャピラリー、パッケージング機器などのバックエンド部品に幅広く適用され、半導体産業の厳しい要求に応えます。
