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Nikon NEXIV VMZ-S Seriesは、千分台の公差管理を高精度・スピーディー・簡単に実現する画像測定システムです。ニコン独自の光学技術と画像処理技術を駆使し、高NAレンズと長い作動距離を両立、ミクロンオーダーの微小スポット径TTLレーザーAF(2σ≤0.5 µm)と1000点/秒の高速レーザースキャンで高精度・高速高さ測定や断面形状評価を可能にします。対物レンズ切り替え不要な光学15倍ワイドズーム光学系、0.01 µm分解能の自社開発リニアエンコーダ、熱膨張係数の近い材料を用いた堅牢な構造により、安定した高精度測定(例:VMZ-S4540でEUXY, MPE: 2.0 + 4L/1000 μm)と測定時間34%短縮を実現。垂直落射、透過、8分割LEDリング照明など多彩な照明系、エッジ選択・サーチ機能で多様なサンプルに対応し、VMZ-S3020/S4540/S6555の3モデルで機械部品、電子部品、半導体、プリント基板など幅広い用途をカバーします。専用ソフトウェア「NEXIV Auto Measure」は直感的なGUI、照明最適化、エッジ検出自動化、オフラインティーチング、各種評価・管理機能を提供し、リモート制御SDKで生産現場の自動化・省人化にも貢献します。