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TORR High Pressure Regulator for Semiconductor Use ｜ 半導体用途向け 高圧を高精度に制御するレギュレーター
Key Takeaways
• TORR High Pressure Series は、半導体および 特殊ガスの高圧用途向けに設計
• 高負荷条件下でも 安定・安全・再現性の高い圧力制御 を実現
• サブシステムから Main Gas Line まで対応する豊富なラインアップ
• 一般ガス、プロセスガス、一部モデルでは腐食性ガス にも対応
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半導体製造プロセスにおいて、高圧ガスの使用は流量、装置応答性、そしてプロセス安定性に直結する重要な要素です。圧力が安定しない場合、安全性や製造 Yield に影響を及ぼす可能性があります。TORR High Pressure Regulator は、実運用環境においても安定・高精度・高信頼性の圧力制御を実現するために開発されました。
高圧ガスを供給できるシステムであっても、わずかな圧力変動がプロセスバランスを崩すことがあります。TORR High Pressure は、供給源から使用点まで圧力を安定して維持し、Line Gas、Process Tool、主幹ガス供給システム に対応します。
内部構造は連続的な高圧条件に耐える設計となっており、複数の出口圧力レンジを制御しながら、高流量でも安定性を損ないません。
🔷 TORR High Pressure Regulator
• TORR-1300
入口圧力計：25 MPa（Max. 15 MPa）
出口圧力計：0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
最大使用圧力：0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
流量：250 NL/min（P2 = 0.5）
重量：1.3 kg
• TORR-2300
入口圧力計：25 MPa（Max. 15 MPa）
出口圧力計：0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
最大使用圧力：0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
流量：1,400 NL/min（P2 = 0.5）
重量：1.8 kg
• TORR-2500
入口圧力計：25 MPa（Max. 15 MPa）
出口圧力計：0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
最大使用圧力：0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
流量：90 Nm³/h（P2 = 0.5）
重量：4.9 kg
• TORR-3300
入口圧力計：25 MPa（Max. 15 MPa）
出口圧力計：0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
最大使用圧力：0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
流量：120 Nm³/h（P2 = 0.5）
重量：14 kg
• TORR-2800（腐食性ガス対応）
入口圧力計：25 MPa（Max. 15 MPa）
出口圧力計：0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
最大使用圧力：0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
流量：1,400 NL/min（P2 = 0.5）
重量：6.7 kg
• TORR-H（High Pressure Type）
入口圧力計：25 MPa（Max. 15 MPa）または 35 MPa（Max. 15 MPa）
出口圧力計：5 / 10 / 20 MPa
最大使用圧力：3 / 6 / 12 MPa
流量：800 NL/min（P2 = 6.0）
重量：2 kg
🔷 対応ガス
O₂, N₂, Ar, H₂, He, CO₂, Ne, Xe, Kr, B₂H₆, SiH₄, PH₃, GeH₄, AsH₃, H₂Se, Si₂H₆, NF₃, BF₃, PF₃, SiF₄, CF₄, CHF₃, CH₂F₂, C₂F₆, C₃F₆, C₃F₈, C₄F₆, C₄F₈, C₅F₈, CO, NO, F₂, HF, HCl, HBr, N₂O, SF₆, NH₃, Cl₂, BCl₃, ClF₃, SiH₂Cl₂, SiCl₄, WF₆ など
圧力条件や流量要件に応じて適切な TORR High Pressure モデルを選定することで、高圧ガス供給を安全かつ安定的に運用し、半導体プロセスの要求仕様に適合させることが可能です。これにより、リスク低減と長期的な信頼性向上を実現します。
まとめ
TORR High Pressure Regulator は、単に「高圧を供給する」だけでなく、高精度に制御することを求められる半導体用途向けソリューションです。産業レベルで求められる安定性・安全性・信頼性を兼ね備え、高圧ガスプロセスを確実に支えます。
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❓ FAQ
Q: TORR High Pressure と TORR Low Pressure の違いは何ですか？
A: High Pressure Series は、より高い入口圧力および使用圧力に対応しており、Main Line や高圧プロセスに適しています。
Q: 大規模システムにはどのモデルが適していますか？
A: 高流量かつ連続運転が求められるシステムには TORR-3300 または TORR-2500 が適しています。
Q: 腐食性ガスに対応するモデルはどれですか？
A: TORR-2800 は、腐食性を有するプロセスガス向けに設計されています。
📚 Glossary（Key Terms）
• High Pressure Regulator：高圧用途向けのガス圧力制御装置
• Semiconductor Process Gas：半導体製造プロセスで使用されるガス
• Main Gas Line：工場内の主幹ガス供給配管
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