เครื่องวิเคราะห์เอกซเรย์ฟลูออเรสเซนซ์ (XRF) เป็นอุปกรณ์เฉพาะทางที่ใช้ฉายรังสีเอกซเรย์ไปยังตัวอย่างและตรวจจับเอกซเรย์ฟลูออเรสเซนซ์ที่เกิดขึ้น เพื่อวิเคราะห์องค์ประกอบธาตุของวัสดุโลหะและโลหะผสมแบบไม่ทำลายเชิงปริมาณ ในอุตสาหกรรมการผลิตใช้สำหรับตรวจสอบคุณภาพวัสดุชิ้นส่วนโลหะ ควบคุมคุณภาพส่วนประกอบโลหะผสม แยกแยะวัสดุในการตรวจรับ และวิเคราะห์ส่วนประกอบของเศษโลหะ มีทั้งแบบพกพา แบบตั้งโต๊ะ และแบบติดตั้งถาวร สามารถวิเคราะห์ธาตุในเหล็กกล้า อะลูมิเนียม โลหะผสมทองแดง และสแตนเลสสตีลได้ภายในไม่กี่วินาที แตกต่างจากอุปกรณ์วิเคราะห์ส่วนประกอบอื่น มีความสามารถในการวิเคราะห์ธาตุหลากหลายพร้อมกันตั้งแต่ธาตุเบาถึงธาตุหนัก เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบแบบไม่ทำลายที่เหมาะสำหรับการตรวจสอบวัสดุอย่างรวดเร็วในสถานที่ผลิต