อุปกรณ์เฉพาะสำหรับการวัดขนาด รูปร่าง และตำแหน่งของชิ้นส่วนหรือผลิตภัณฑ์ในพื้นที่สามมิติด้วยความแม่นยำสูง ใช้โพรบแบบสัมผัสหรือเซ็นเซอร์แบบไม่สัมผัส วัดและวิเคราะห์ข้อมูลพิกัด X Y Z เพื่อตรวจสอบค่าเผื่อขนาด ค่าเผื่อเรขาคณิต และตำแหน่งของรูปร่างที่ซับซ้อนโดยอัตโนมัติ จำเป็นสำหรับการตรวจสอบคุณภาพชิ้นส่วน CNC การตรวจสอบรูปร่างแม่พิมพ์ และการวัดความแม่นยำของชิ้นส่วนยานยนต์และอากาศยาน มีโครงสร้างแบบเกท สะพาน และแขนแนวนอน เลือกใช้ตามช่วงการวัดและความแม่นยำ เรียกว่า CMM เป็นหนึ่งในอุปกรณ์วัดที่สำคัญที่สุดในการประกันคุณภาพของอุตสาหกรรมการผลิต