หมวดหมู่อุปกรณ์ตรวจจับการรั่วไหลความแม่นยำสูงที่ใช้แก๊สติดตาม ใช้แก๊สพิเศษเช่น ฮีเลียม ไฮโดรเจน SF6 เป็นสื่อตรวจจับ สามารถตรวจจับการรั่วไหลระดับจิ๋ว 10^-12 Pa·m³/s อุปกรณ์เฉพาะทางรวมถึงเครื่องตรวจจับการรั่วไหลฮีเลียมแบบมาสสเปกโตรมิเตอร์ เครื่องตรวจจับการรั่วไหลไฮโดรเจน เครื่องตรวจจับการรั่วไหล SF6 ใช้ตรวจสอบความแน่นสนิทของชิ้นส่วนเครื่องยนต์รถยนต์ อุปกรณ์ทำความเย็น เครื่องจักรผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์การแพทย์ แตกต่างจากวิธีการลดความดันและการทดสอบฟองอากาศ มีลักษณะเฉพาะคือการวัดความไวสูงที่เชี่ยวชาญในการตรวจจับแก๊สติดตามเฉพาะ รวมถึงระบบตรวจสอบที่ผสมผสานกับเทคโนโลยีสุญญากาศ