เครื่องตรวจจับการรั่วซึมด้วยแก๊สฮีเลียม ใช้แก๊สฮีเลียมเป็นแก๊สติดตามเพื่อตรวจจับการรั่วซึมขนาดเล็กมากด้วยความแม่นยำสูง ประกอบด้วยเครื่องตรวจจับการรั่วซึมฮีเลียมที่มีเครื่องวิเคราะห์มวลในตัว, เครื่องตรวจจับการรั่วซึมแบบปั๊มสุญญากาศรวมเป็นเครื่องเดียว, เครื่องตรวจจับฮีเลียมแบบพกพา ใช้ในการทดสอบความแน่นอากาศของชิ้นส่วนเครื่องยนต์รถยนต์, ท่อแอร์, อุปกรณ์ผลิตเซมิคอนดักเตอร์, เคสอุปกรณ์การแพทย์ สามารถตรวจจับการรั่วซึมขนาดเล็กได้ถึงระดับ 10^-12 Pa・m³/s แตกต่างจากวิธีการลดความดันและการทดสอบฟองอากาศ มีคุณสมบัติเด่นคือการตรวจจับด้วยความไวสูงโดยการวิเคราะห์มวลเฉพาะของแก๊สฮีเลียม รองรับทั้งการทดสอบการรั่วซึมในสุญญากาศและการทดสอบการรั่วซึมภายใต้ความดัน เป็นอุปกรณ์วัดเฉพาะทาง