เครื่องวิเคราะห์องค์ประกอบธาตุด้วยเอกซเรย์ฟลูออเรสเซนซ์ที่ฉายรังสีเอกซเรย์ไปยังตัวอย่างและตรวจจับวิเคราะห์เอกซเรย์ฟลูออเรสเซนซ์ที่เกิดขึ้นเพื่อวิเคราะห์เชิงปริมาณองค์ประกอบธาตุแบบไม่ทำลาย เป็นเครื่องมือวิเคราะห์ที่จำเป็นสำหรับการควบคุมคุณภาพในอุตสาหกรรมการผลิต ใช้สำหรับวิเคราะห์องค์ประกอบวัสดุโลหะ วัดความหนาฟิล์มชุบ วิเคราะห์สิ่งแปลกปลอม ตรวจสอบสารอันตรายตามข้อกำหนด RoHS มีผลิตภัณฑ์หลากหลายตั้งแต่แบบตั้งโต๊ะถึงแบบพกพา ใช้งานอย่างแพร่หลายในการตรวจรับและควบคุมกระบวนการผลิตเหล็กกล้า โลหะนอกเหนือจากเหล็ก ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ ชิ้นส่วนยานยนต์ แบ่งเป็นชนิดกระจายพลังงาน EDX และชนิดกระจายความยาวคลื่น WDX เลือกใช้ตามความสมดุลระหว่างความแม่นยำและเวลาในการวัด