เครื่องมือวัดแบบออปติคัลเป็นกลุ่มอุปกรณ์ที่ใช้คุณสมบัติของแสงในการวัดขนาด รูปร่าง สภาพผิวหน้า และคุณสมบัติทางแสงอย่างแม่นยำแบบไม่สัมผัส ประกอบด้วยเครื่องวัดเลเซอร์ เครื่องวัดสามมิติแบบออปติคัล เครื่องวัดความหยาบผิว กล้องจุลทรรศน์แสง อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ สเปกโตรมิเตอร์ เป็นต้น ใช้ในการควบคุมคุณภาพ กระบวนการตรวจสอบ และการวิจัยพัฒนาในโรงงานผลิต ช่วยให้วัดได้อย่างแม่นยำและรวดเร็ว หลีกเลี่ยงความเสียหายต่อชิ้นงานจากการสัมผัส และสามารถวัดรายละเอียดจิ๋วได้ ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ เครื่องจักรแม่นยำ ชิ้นส่วนออปติคัล และเซมิคอนดักเตอร์