NIPPON CUTTING & WELDING EQUIPMENT CO., LTD.
SERVICES
เทคโนโลยีและบริการ
TORR High Pressure Regulator for Semiconductor use ｜ ควบคุมแรงดันสูงอย่างแม่นยำ
Key Takeaways
• TORR High Pressure Series ออกแบบสำหรับงาน Semiconductor และ Specialty Gas ที่ต้องใช้แรงดันสูง
• ควบคุมแรงดันได้เสถียร ปลอดภัย และทำซ้ำได้ แม้ภายใต้โหลดสูง
• มีหลายรุ่น ครอบคลุมตั้งแต่ระบบย่อยจนถึง Main Gas Line
• รองรับงานก๊าซทั่วไป ก๊าซกระบวนการ และก๊าซกัดกร่อนในบางรุ่น
ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー
ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การใช้ก๊าซภายใต้แรงดันสูงเป็นปัจจัยสำคัญต่ออัตราการไหล การตอบสนองของเครื่องมือ และความเสถียรของกระบวนการ หากแรงดันไม่คงที่ อาจกระทบทั้งความปลอดภัยและ Yield การผลิต TORR High Pressure Regulator ถูกพัฒนาขึ้นเพื่อแก้ปัญหานี้โดยตรง ด้วยแนวคิดการควบคุมแรงดันที่นิ่ง แม่นยำ และเชื่อถือได้ในสภาวะการใช้งานจริง
แม้ระบบจะสามารถจ่ายก๊าซแรงดันสูงได้ แต่ความผันผวนเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้กระบวนการเสียสมดุล TORR High Pressure ช่วยรักษาแรงดันให้คงที่ตั้งแต่ต้นทางจนถึงจุดใช้งาน รองรับทั้ง Line Gas, Process Tool และระบบจ่ายก๊าซหลัก โครงสร้างภายในถูกออกแบบให้ทนต่อแรงดันสูงต่อเนื่อง ควบคุม Pressure Gauge ขาออกได้หลายระดับและรองรับอัตราการไหลสูงโดยไม่สูญเสียเสถียรภาพ
🔷 TORR High Pressure Regulator
• TORR-1300
Pressure Gauge ขาเข้า 25 MPa (Max. 15 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
อัตราการไหล 250 NL/min (P2 = 0.5)
น้ำหนัก 1.3 kg
• TORR-2300
Pressure Gauge ขาเข้า 25 MPa (Max. 15 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
อัตราการไหล 1,400 NL/min (P2 = 0.5)
น้ำหนัก 1.8 kg
• TORR-2500
Pressure Gauge ขาเข้า 25 MPa (Max. 15 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
อัตราการไหล 90 Nm³/h (P2 = 0.5)
น้ำหนัก 4.9 kg
• TORR-3300
Pressure Gauge ขาเข้า 25 MPa (Max. 15 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
อัตราการไหล 120 Nm³/h (P2 = 0.5)
น้ำหนัก 14 kg
• TORR-2800 (สำหรับก๊าซกัดกร่อน)
Pressure Gauge ขาเข้า 25 MPa (Max. 15 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
อัตราการไหล 1,400 NL/min (P2 = 0.5)
น้ำหนัก 6.7 kg
• TORR-H (High Pressure Type)
Pressure Gauge ขาเข้า 25 MPa (Max. 15 MPa) หรือ 35 MPa (Max. 15 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 5 / 10 / 20 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 3 / 6 / 12 MPa
อัตราการไหล 800 NL/min (P2 = 6.0)
น้ำหนัก 2 kg
🔷 ก๊าซที่รองรับ
O₂, N₂, Ar, H₂, He, CO₂, Ne, Xe, Kr, B₂H₆, SiH₄, PH₃, GeH₄, AsH₃, H₂Se, Si₂H₆, NF₃, BF₃, PF₃, SiF₄, CF₄, CHF₃, CH₂F₂, C₂F₆, C₃F₆, C₃F₈, C₄F₆, C₄F₈, C₅F₈, CO, NO, F₂, HF, HCl, HBr, N₂O, SF₆, NH₃, Cl₂, BCl₃, ClF₃, SiH₂Cl₂, SiCl₄, WF₆
การเลือก TORR High Pressure รุ่นที่เหมาะสมช่วยให้ระบบจ่ายก๊าซแรงดันสูงทำงานได้อย่างปลอดภัย เสถียรและสอดคล้องกับข้อกำหนดของกระบวนการ Semiconductor ลดความเสี่ยงและเพิ่มความเชื่อถือได้ในระยะยาว
สรุป
TORR High Pressure Regulator คือโซลูชันสำหรับงาน Semiconductor ที่ต้องการมากกว่าการ “จ่ายแรงดันได้” แต่ต้อง “ควบคุมได้อย่างแม่นยำ” เพื่อความนิ่ง ความปลอดภัยและความเสถียรในระดับอุตสาหกรรม
ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー
❓ FAQ
Q: TORR High Pressure ต่างจาก TORR Low Pressure อย่างไร?
A: High Pressure Series รองรับPressure Gauge ขาเข้าและแรงดันใช้งานที่สูงกว่า เหมาะกับ Main Line และกระบวนการแรงดันสูง
Q: ควรเลือกรุ่นใดสำหรับระบบขนาดใหญ่?
A: TORR-3300 หรือ TORR-2500 เหมาะกับระบบที่ต้องการ Flow สูงและการใช้งานต่อเนื่อง
Q: TORR รุ่นใดรองรับก๊าซกัดกร่อน?
A: TORR-2800 ถูกออกแบบมาสำหรับก๊าซกระบวนการที่มีความกัดกร่อน
📚 Glossary (Key Terms)
• High Pressure Regulator: อุปกรณ์ควบคุมแรงดันก๊าซสำหรับการใช้งานแรงดันสูง
• Semiconductor Process Gas: ก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
• Main Gas Line: ระบบท่อจ่ายก๊าซหลักในโรงงาน
ข้อมูลบริษัท
ผลิตภัณฑ์หลัก 3 รายการ
เครื่องปรับแรงดันก๊าซอุตสาหกรรม / อุปกรณ์ตัดด้วยก๊าซ
หมายเลขโทรศัพท์
ด้วยประสบการณ์กว่า 36 ปีในประเทศไทย NIPPON CUTTING & WELDING EQUIPMENT CO., LTD. ได้ดำเนินการผลิตอุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องกับเทคโนโลยีการตัดด้วยแก๊สมาอย่างต่อเนื่อง ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมานอกจากเครื่องตัดพ ...
CATALOG
แคตตาล็อกที่เกี่ยวข้อง
PICKUP
เทคโนโลยีและบริการ
CONTACT
ติดต่อเรา