ปั๊มจ่ายสารความแม่นยำสูงแบบคงที่ของ KOGANEI เหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์, FPD, แบตเตอรี่ และสารเคมี ที่ต้องการความแม่นยำในการจ่ายซ้ำสูงและประสิทธิภาพการไหลคงที่ ปั๊มในซีรีส์นี้มีส่วนที่สัมผัสกับของเหลวทำจากเรซินฟลูออรีน ทำให้เข้ากันได้กับสารเคมีหลากหลายชนิด และด้วยกลไกแบบเบลโลว์หรือโครงสร้างท่อที่เป็นเอกลักษณ์ที่ไม่มีส่วนเคลื่อนที่เสียดสี จึงแทบไม่มีการสร้างอนุภาค ไม่ต้องบำรุงรักษาประจำวัน และสามารถจ่ายสารได้อย่างแม่นยำสูงและทำซ้ำได้ดี กลุ่มผลิตภัณฑ์หลักประกอบด้วย ปั๊มเบลโลว์แบบใช้ลมหรือไฟฟ้า, ปั๊ม CT (Coaxial Tubephragm) แบบไฟฟ้าที่มีโครงสร้างอนุภาคน้อยและคุณสมบัติการเปลี่ยนของเหลวที่ดีเยี่ยม, ปั๊ม PT (Parallel Tubephragm) ที่รวมท่อรูปเลข 8 อันเป็นเอกลักษณ์เข้ากับเบลโลว์, และปั๊ม CT/PT/HT ที่ขับเคลื่อนด้วยเซอร์โวมอเตอร์ AC ซึ่งให้การจ่ายสารแบบไร้การสั่นสะเทือนและควบคุมการไหลได้ดี นอกจากนี้ยังมีปั๊ม RT (Rigid Tubephragm) โครงสร้างใหม่ที่ตอบสนองเร็วและมีเสถียรภาพการไหลสูง รวมถึงปั๊ม CT สำหรับสารเคมีที่มีความหนืดสูง ซึ่งช่วยลดฟองอากาศที่เกิดจากการอัดแรงดันและลดปริมาณสารเคมีที่ใช้ในการบำรุงรักษา ปั๊มเหล่านี้รองรับการใช้งานที่หลากหลาย เช่น การเคลือบเวเฟอร์, การเคลือบแบบสลิต, การเติม-ชั่ง-ผสมสารเคมี และการฉีดอิเล็กโทรไลต์ ซึ่งต้องการการจ่ายของเหลวที่แม่นยำสูง นอกจากนี้ยังมีชุดปั๊ม (Dispensing Unit) ที่รวมปั๊ม, ฟิลเตอร์, วาล์ว และอุปกรณ์ควบคุมเข้าไว้ด้วยกัน และตัวควบคุมปั๊มที่สามารถควบคุมปั๊มหลายตัวได้ เพื่อรองรับการสร้างระบบที่สมบูรณ์แบบ.