コガネイの高精度定量吐出ポンプシリーズは、半導体、FPD、電池、試薬分野などで幅広く活用される。接液部はフッ素樹脂製で様々な薬液に対応し、摺動部がないためパーティクルの発生が極めて少なく、日常的なメンテナンス不要で高い繰り返し精度を維持する。 製品は電動ベローズポンプ、電動CTポンプ、電動PTポンプ、電動HTポンプ、電動RTポンプなど多岐にわたり、空気圧駆動、ステッピングモータ駆動、ACサーボモータ駆動の各方式に対応する。特に電動CTポンプは、面粗さRt:0.3µm以下のNEW PFAチューブと小表面積により低パーティクル化を実現。細いチューブ状の流路は液の滞留を抑え、下方から上方への流路設計で泡抜けも良好である。 ACサーボモータ駆動モデルは、高精度な定量吐出に加え、脈動の少ない定流量性能を実現し、吐出速度の任意制御により基板の動きとの同期も可能。高粘度薬液用CTポンプは最大10000cPの液体に対応し、加圧による泡の溶け込みを解消し、メンテナンス時の薬液削減にも貢献する。最大吐出量は1mlから500mlまで幅広いラインナップを揃え、高精度な定量吐出や定流量塗布が求められるウェハ塗布、薬液充填、スリット塗布などに最適である。ポンプ単体だけでなく、フィルタやバルブ、制御機器を統合したディスペンスユニットや、複数ポンプを制御可能なコントローラと組み合わせたシステム構築も可能である。