直線運動を直接発生する電磁力駆動モータ。機械的接触なしの高速・高精度・メンテナンスフリー駆動を実現。工作機械・半導体装置・搬送システムでの精密送り・高速搬送に使用。推力・速度・精度・応答性を重視。