SANMOTION リニアサーボシステム
「リニアサーボシステム」は、高速かつ高精度な動作を実現するリニアモータ技術を搭載したシステムです。独自のセンターマグネットタイプを初めて製品化することで、モータの磁気吸引力を相殺し、装置構造を簡素化。さらに、業界トップクラスの加速度25Gや高推力密度を達成し、生産性の向上に大きく寄与します。半導体製造装置、液晶ディスプレイ製造装置、搬送装置など幅広い用途に適しています。
■ 特長
装置構造の簡素化：
センターマグネットタイプがモータ自身で磁気吸引力を打ち消し、設計を簡素化。
業界トップの加速度：
最大25Gの加速度を達成し、装置の高速駆動とサイクルタイムの短縮に貢献。
小型化と高推力密度：
従来品比でセンターマグネットタイプは30％小型化、推力密度は42％向上。
■ 用途
半導体製造装置：
高速・高精度な位置決めを必要とする製造プロセスに最適。
液晶ディスプレイ製造装置：
精密で高速な動作を求められる装置での効率向上。
搬送装置・チップマウンタ：
高推力性能を活かした高速搬送や高精度な動作が可能。
「リニアサーボシステム」は、高速・高精度な動作が求められる装置に最適なソリューションであり、設計の簡素化と生産性向上に大きく貢献します。
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