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TORR Low Pressure Regulator for Semiconductor Use ｜ 半導体向け特殊ガスプロセスのための高精度低圧制御
Key Takeaways
• TORR Series は、半導体および 特殊ガス向けに特化設計された低圧用レギュレーター
• 低圧領域において、安定・再現性の高い圧力制御を実現し、プロセス変動を低減
• 実験用途・サブシステムから 工場の Main Gas Line まで幅広く対応するラインアップ
• 半導体産業および R&D で使用される多様なプロセスガスに対応
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半導体製造プロセスにおいて、ガス制御は単なる清浄性だけでなく、極めて低い圧力レベルでの精度が求められます。わずかな圧力変動でも、薄膜特性、成膜品質、さらにはプロセス全体の Yield に影響を及ぼす可能性があります。TORR Low Pressure Regulator は、ガス供給の上流段階から「圧力が本当に安定していること」が求められる用途に対応するために開発されました。
多くの製造ラインでは高品質なガス源を使用しているにもかかわらず、圧力の不安定さが課題となるケースがあります。TORR Series は、負荷変動に追従しながら圧力を一定に保ち、プロセスの各工程が設計通りに機能することを支えます。
設計思想は、低圧領域での高精度な出口圧力制御、連続流量への対応、そして半導体プロセスおよび研究開発用途のガスに最適化されている点にあります。
🔷 TORR Low Pressure Regulator
• TORR-30
入口圧力計：なし（Max. 5 MPa）
出口圧力計：0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
最大使用圧力：0.2 / 0.4 / 0.6 / 0.99 MPa
流量：300 NL/min（P2 = 0.4）
重量：1.1 kg
• TORR-50
入口圧力計：なし（Max. 3.5 MPa）
出口圧力計：0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
最大使用圧力：0.2 / 0.4 / 0.6 / 0.99 MPa
流量：800 NL/min（P2 = 0.4）
重量：1.6 kg
• TORR-80
入口圧力計：なし（Max. 2 MPa）
出口圧力計：0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
最大使用圧力：0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
流量：1,400 NL/min（P2 = 1.0）
重量：3 kg
• TORR-150
入口圧力計：なし（Max. 2 MPa）
出口圧力計：0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
最大使用圧力：0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
流量：1,400 NL/min（P2 = 1.0）
重量：3.7 kg
• TORR-350
入口圧力計：なし（Max. 1.5 MPa）
出口圧力計：0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
最大使用圧力：0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
流量：2,200 NL/min（P2 = 1.0）
重量：10 kg
• TORR-800
入口圧力計：なし（Max. 1 MPa）
出口圧力計：0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
最大使用圧力：0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
流量：3,000 NL/min（P2 = 1.0）
重量：32 kg
🔷 対応ガス
O₂, N₂, Ar, H₂, He, CO₂, Ne, Xe, Kr, B₂H₆, SiH₄, PH₃, GeH₄, AsH₃, H₂Se, Si₂H₆, NF₃, BF₃, PF₃, SiF₄, CF₄, CHF₃, CH₂F₂, C₂F₆, C₃F₆, C₃F₈, C₄F₆, C₄F₈, C₅F₈, CO, NO, F₂, HF, HCl, HBr, N₂O, SF₆, NH₃, Cl₂, BCl₃, ClF₃, SiH₂Cl₂, SiCl₄, WF₆ など
圧力レンジおよび流量条件に応じて最適な TORR モデルを選定することで、圧力変動を抑制し、プロセスの安定性を高め、半導体製造における Yield 向上を体系的に支援します。
まとめ
TORR Low Pressure Regulator は、半導体産業における低圧ガス制御の中核となる存在です。安定性・精度・長期信頼性を重視した設計により、実験用途からサブシステム、大規模量産ラインまで幅広く対応します。
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❓ FAQ
Q: TORR は一般的なレギュレーターと何が違いますか？
A: TORR は低圧用途に特化して設計されており、一般的なレギュレーターよりも高い安定性と精度を実現します。
Q: TORR Series はどのような用途に適していますか？
A: 半導体プロセス、特殊ガスシステム、低圧かつ高安定性が求められる R&D 用途に適しています。
Q: 半導体製造ラインにはどのモデルを選ぶべきですか？
A: システム規模と必要流量により異なります。小型装置には TORR-30、工場の主幹ガスラインには TORR-800 が適しています。
📚 Glossary（Key Terms）
• Low Pressure Regulator：低圧領域のガス圧力を制御する装置
• Specialty Gases：産業プロセスや半導体用途で使用される特殊ガス
• Yield：製造プロセスにおける成果率・歩留まり
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