CemeCon-ML-EN
CemeConのDCスパッタコーティングシステムは、高い柔軟性と汎用性を誇る工具コーティング装置です。DCマグネトロンスパッタリング技術を採用し、窒化物、ホウ化物、炭素系材料など多様な材料を迅速かつ容易にコーティングできます。本システムには、中ロット量や頻繁なバッチ変更、研究開発に適した経済的なCC800/9 MLと、大ロット量や大型部品のコーティングに特化したCC800/9 XLの2モデルがあります。CC800/9 XLは、MLモデルと同じ外形寸法ながら、コーティングエリアØ650x700mm、ドリル4,500本（Ø6x60mm）または切削インサート16,400個（12.7x3.5mm）を一度に処理できる大容量が特徴で、最大800mm長、直径650mmの工具に対応します。基板前処理にはプラズマエッチング（ブースター、MF/RFエッチング）を用い、導電性コーティングに対応しますが、非導電性コーティングや基板には対応しません。MLモデルの3µm Hyperlox®コーティングサイクルタイムが5時間であるのに対し、XLモデルは6時間で完了します。
