Vacuum Equipment All type series
アネスト岩田の「VACUUM EQUIPMENT GENERAL CATALOG」は、1993年に世界初の空冷式オイルフリースクロール真空ポンプを開発して以来、幅広い真空機器を提供しています。主要製品は、オイルフリースクロール真空ポンプのISP/SDMシリーズ(中~高真空、到達圧力1~20Pa、排気速度50~1200L/min)、DVSLシリーズ(中低真空、到達圧力30~100Pa、排気速度100~1000L/min、水蒸気排気に強いハードコート仕様も)、GVSシリーズ(低真空、到達圧力500~750Pa、排気速度200~1000L/min)です。これらのポンプは、オイルフリー、低振動、低騒音、空冷式、軽量コンパクトが特徴です。また、オイルフリースクロールポンプとターボ分子ポンプを組み合わせた高真空排気ユニットVTU/VTCシリーズ(到達圧力10^-5Pa)や、ドライスクロールとメカニカルブースタを組み合わせたブースタカートVMCシリーズ(到達圧力10Pa、排気速度1000L/min)もラインアップ。用途は分析装置、半導体、医療、食品、宇宙開発、放射光施設など多岐にわたり、吸着搬送、真空乾燥、成膜、漏れ検査などに貢献。防音カバーや真空パイロット電磁弁などのオプションも充実し、国内外のサービスネットワークでサポートしています。