NIPPON CUTTING & WELDING EQUIPMENT CO., LTD.
SERVICES
เทคโนโลยีและบริการ
TORR Low Pressure Regulator for Semiconductor use｜ ควบคุมแรงดันต่ำอย่างแม่นยำสำหรับกระบวนการก๊าซพิเศษ
Key Takeaways
• TORR Series คือ Low Pressure Regulator ที่ออกแบบมาเฉพาะสำหรับงาน Semiconductor และ Specialty Gases
• ให้การควบคุมแรงดันต่ำที่นิ่ง เสถียร และทำซ้ำได้ ช่วยลดความผันผวนของกระบวนการ
• มีหลายรุ่น ครอบคลุมตั้งแต่งานทดลอง ระบบย่อย ไปจนถึง Main Gas Line ของโรงงาน
• รองรับก๊าซกระบวนการหลากหลายที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และงาน R&D
ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー
ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การควบคุมก๊าซไม่ใช่เพียงเรื่องความสะอาดแต่คือความแม่นยำของแรงดันในระดับต่ำมาก ความผันผวนเพียงเล็กน้อยอาจส่งผลต่อฟิล์มบาง คุณภาพชั้นเคลือบ และ Yield ของกระบวนการโดยรวม TORR Low Pressure Regulator จึงถูกพัฒนาขึ้นเพื่อตอบโจทย์งานที่ “แรงดันต้องนิ่งจริง” ตั้งแต่ต้นทางของระบบจ่ายก๊าซ
แม้หลายไลน์ผลิตจะใช้แหล่งก๊าซคุณภาพสูง แต่ยังคงพบปัญหาแรงดันไม่สม่ำเสมอ TORR Series เข้ามาทำหน้าที่ควบคุมแรงดันให้คงที่ รองรับการเปลี่ยนแปลงของโหลดและช่วยให้ทุกขั้นตอนของกระบวนการทำงานได้ตามที่ออกแบบไว้ แนวคิดการออกแบบเน้นการควบคุม Pressure Gauge ขาออกในระดับต่ำอย่างแม่นยำ รองรับการไหลต่อเนื่องและเหมาะกับก๊าซที่ใช้ในกระบวนการ Semiconductor รวมถึงงานวิจัยและพัฒนา
🔷 TORR Low Pressure Regulator
• TORR-30
Pressure Gauge ขาเข้า Nil (Max. 5 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 0.2 / 0.4 / 0.6 / 0.99 MPa
อัตราการไหล 300 NL/min (P2 = 0.4)
น้ำหนัก 1.1 kg
• TORR-50
Pressure Gauge ขาเข้า Nil (Max. 3.5 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 0.2 / 0.4 / 0.6 / 0.99 MPa
อัตราการไหล 800 NL/min (P2 = 0.4)
น้ำหนัก 1.6 kg
• TORR-80
Pressure Gauge ขาเข้า Nil (Max. 2 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
อัตราการไหล 1,400 NL/min (P2 = 1.0)
น้ำหนัก 3 kg
• TORR-150
Pressure Gauge ขาเข้า Nil (Max. 2 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
อัตราการไหล 1,400 NL/min (P2 = 1.0)
น้ำหนัก 3.7 kg
• TORR-350
Pressure Gauge ขาเข้า Nil (Max. 1.5 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
อัตราการไหล 2,200 NL/min (P2 = 1.0)
น้ำหนัก 10 kg
• TORR-800
Pressure Gauge ขาเข้า Nil (Max. 1 MPa)
Pressure Gauge ขาออก 0.3 / 0.6 / 1.0 / 1.5 MPa
แรงดันใช้งานสูงสุด 0.2 / 0.4 / 0.6 / 1.0 MPa
อัตราการไหล 3,000 NL/min (P2 = 1.0)
น้ำหนัก 32 kg
🔷 ก๊าซที่รองรับ
O₂, N₂, Ar, H₂, He, CO₂, Ne, Xe, Kr, B₂H₆, SiH₄, PH₃, GeH₄, AsH₃, H₂Se, Si₂H₆, NF₃, BF₃, PF₃, SiF₄, CF₄, CHF₃, CH₂F₂, C₂F₆, C₃F₆, C₃F₈, C₄F₆, C₄F₈, C₅F₈, CO, NO, F₂, HF, HCl, HBr, N₂O, SF₆, NH₃, Cl₂, BCl₃, ClF₃, SiH₂Cl₂, SiCl₄, WF₆ ฯลฯ
การเลือก TORR รุ่นที่เหมาะสมตามช่วงแรงดันและอัตราการไหล ช่วยลดแรงดันแกว่ง เพิ่มเสถียรภาพของกระบวนการและสนับสนุน Yield ในงาน Semiconductor อย่างเป็นระบบ
สรุป
TORR Low Pressure Regulator คือหัวใจของการควบคุมก๊าซแรงดันต่ำในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ด้วยการออกแบบที่เน้นความนิ่ง ความแม่นยำ และความเชื่อถือได้ในระยะยาว TORR Series จึงตอบโจทย์ทั้งงานทดลอง ระบบย่อยและไลน์ผลิตขนาดใหญ่ได้อย่างตรงจุด
ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー
❓ FAQ
Q: TORR แตกต่างจาก Regulator ทั่วไปอย่างไร?
A: TORR ถูกออกแบบมาสำหรับแรงดันต่ำโดยเฉพาะ ให้ความนิ่งและเสถียรสูงกว่า Regulator ทั่วไป
Q: TORR Series เหมาะกับงานประเภทใด?
A: เหมาะกับงาน Semiconductor, Specialty Gas และงาน R&D ที่ต้องการแรงดันต่ำและเสถียร
Q: ควรเลือกรุ่นใดสำหรับไลน์ผลิต Semiconductor?
A: ขึ้นกับอัตราการไหลและขนาดระบบ ตั้งแต่ TORR-30 สำหรับเครื่องมือขนาดเล็ก ไปจนถึง TORR-800 สำหรับระบบหลักของโรงงาน
📚 Glossary (Key Terms)
• Low Pressure Regulator: อุปกรณ์ควบคุมแรงดันก๊าซในช่วงแรงดันต่ำ
• Specialty Gases: ก๊าซที่ใช้เฉพาะในกระบวนการอุตสาหกรรมหรือเซมิคอนดักเตอร์
• Yield: ผลลัพธ์หรืออัตราความสำเร็จของกระบวนการผลิต
ข้อมูลบริษัท
ผลิตภัณฑ์หลัก 3 รายการ
เครื่องปรับแรงดันก๊าซอุตสาหกรรม / อุปกรณ์ตัดด้วยก๊าซ
หมายเลขโทรศัพท์
ด้วยประสบการณ์กว่า 36 ปีในประเทศไทย NIPPON CUTTING & WELDING EQUIPMENT CO., LTD. ได้ดำเนินการผลิตอุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องกับเทคโนโลยีการตัดด้วยแก๊สมาอย่างต่อเนื่อง ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมานอกจากเครื่องตัดพ ...
CATALOG
แคตตาล็อกที่เกี่ยวข้อง
PICKUP
เทคโนโลยีและบริการ
CONTACT
ติดต่อเรา